质量流量控制器
1）MFC-200 系列气体质量流量控制器是一款专为气体分析仪、质谱仪、配气仪等行业所开发的一款高精度、低温漂、高可靠性的产品。 可稳定控制氩气、氮气、空气、氧气、氢气、甲烷、二氧化碳、氦气等多种介质。
2）该产品配备有工业级 MEMS 流量传感芯片、高端电磁比例阀、316L 不锈钢气路座等，具有精度高、响应速度快、稳定性好、温压不敏感等优点。
4）该产品输出和控制信号包含：0-5V 模拟信号和 RS485 数字通信方式。
5）该产品于温度 24±2℃的千级净化间内组装、标定及包装。为保证产品质量，其精度、重复性等性能指标须经过两次检查，合格后出厂。
2）该产品配备有工业级 MEMS 流量传感芯片、高端电磁比例阀、316L 不锈钢气路座等，具有精度高、响应速度快、稳定性好、温压不敏感等优点。
4）该产品输出和控制信号包含：0-5V 模拟信号和 RS485 数字通信方式。
5）该产品于温度 24±2℃的千级净化间内组装、标定及包装。为保证产品质量，其精度、重复性等性能指标须经过两次检查，合格后出厂。
产品特点
- 精度高，响应快
- 温度压力影响小
- 兼容多种信号输出方式
- 长期稳定性，良好的重复性
应用案例
典型应用：采用两路高精度质量流量控制器（MFC）进行流量控制，通过将高浓度标气和稀释气进行不同比例稀释，得到各种浓度的标气，满足不同的应用需求
技术参数
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产品型号 |
MFC-100 |
MFC-200 |
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产品外观 |
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量程 |
（0~10,20,50,100，200，500） sccm /（0~1,2,5,10,20,50） SLM |
（0~20，100,500） sccm /（0~1,2,5，10,20） SLM |
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阀控类型 |
常闭 |
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准确度 |
≤±1% F.S |
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重复性 |
＜0.5% |
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工作压差 |
（0.1~0.4）MPa |
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温漂 |
＜0.05%F.S/℃ |
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环境温湿度 |
5~40℃,0~90RH% |
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耐压 |
1MPa |
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输入信号 |
（0~5）VDC，RS485 |
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输出信号 |
（0~5）VDC，RS485 |
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气路接口 |
G1/4 -1/4 (SLM)；G1/4 -1/8 (SCCM) |
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供电电压 |
DC24V |
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功耗 |
＜2.4w |
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尺寸规格 |
（80*36*57）mm |
（80*68*24）mm |
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产品应用 |
半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业；分析检测仪器、医药、环保和真空等领域 |
稀释设备，便携分析仪，生物发酵流量过程控制；分析检测仪器、医药、环保和真空等领域 |
