质量流量控制器
1）MFC-200 系列气体质量流量控制器是一款专为气体分析仪、质谱仪、配气仪等行业所开发的一款高精度、低温漂、高可靠性的产品。 可稳定控制氩气、氮气、空气、氧气、氢气、甲烷、二氧化碳、氦气等多种介质。
2）该产品配备有工业级 MEMS 流量传感芯片、高端电磁比例阀、316L 不锈钢气路座等，具有精度高、响应速度快、稳定性好、温压不敏感等优点。
4）该产品输出和控制信号包含：0-5V 模拟信号和 RS485 数字通信方式。
5）该产品于温度 24±2℃的千级净化间内组装、标定及包装。为保证产品质量，其精度、重复性等性能指标须经过两次检查，合格后出厂。
